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深圳擴(kuò)維原子科技有限公司
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大尺寸 窄分布

可制備小至單原子,大至直徑大于10nm團(tuán)簇

無質(zhì)量選擇條件下,團(tuán)簇直徑分布小于±10%

廣材料種類

可制備大部分金屬,部分半導(dǎo)體、絕緣體團(tuán)簇

原子氣產(chǎn)生

可配備蒸發(fā)源、磁控濺射、火花燒蝕等產(chǎn)生源

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冷凝腔 多沉積

液氮、水冷;氣壓、溫度可控;冷凝距離可調(diào)

兼容金屬、玻璃、陶瓷、聚合物等襯底或粉末

高束流 穩(wěn)能量

典型金屬團(tuán)簇束流>1nA;其他團(tuán)簇束流>100pA

精確可調(diào),可實(shí)現(xiàn)團(tuán)簇軟著陸沉積、高能撞擊

計(jì)算機(jī)控制

功能軟件控制,運(yùn)行日志存檔,實(shí)驗(yàn)參數(shù)調(diào)用

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圖片2
深圳擴(kuò)維原子科技有限公司開發(fā)的原子精確團(tuán)簇束流系統(tǒng),通過“原子產(chǎn)生+氣相凝聚+質(zhì)譜分選”的自下而上原子級制造技術(shù),在氣相中合成納米團(tuán)簇?;诮?0年的深入研究與超過15臺(套)設(shè)備的技術(shù)迭代,解決了高效率原子級精確操控的科學(xué)問題與團(tuán)簇束流流量即團(tuán)簇材料產(chǎn)能放大的技術(shù)問題,可以實(shí)現(xiàn)普適的元素精確、原子數(shù)精確以及原子排列結(jié)構(gòu)精確團(tuán)簇材料的高速率制造,兼容襯底、粉末、溶液等沉積方式,并可以根據(jù)您的要求進(jìn)行定制。
原子精確團(tuán)簇
束流設(shè)備
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團(tuán)簇束流設(shè)備
質(zhì)量選擇
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· 掃描沉積系統(tǒng):
· 粉末沉積系統(tǒng):
· 多元原子產(chǎn)生:
· 復(fù)合材料沉積:
· 超高質(zhì)量分辨:
· 原子結(jié)構(gòu)選擇:
· 原子捕獲添加:
· 定制超高真空:
真空內(nèi)厘米級多軸移動(dòng)平臺,實(shí)現(xiàn)團(tuán)簇的掃描沉積。
通過振動(dòng)、流化等分散方式,實(shí)現(xiàn)團(tuán)簇的粉末沉積。
集成2~3個(gè)磁控陰極,濺射多個(gè)靶材以形成合金團(tuán)簇。
沉積腔配備蒸發(fā)源共沉積原子/薄膜,形成復(fù)合材料。
可定制反射式飛行時(shí)間質(zhì)譜,串聯(lián)三重四極桿質(zhì)譜。
可定制斯特恩-蓋拉赫,利用磁場梯度實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)選擇。
可定制離子阱+蒸發(fā)源,實(shí)現(xiàn)團(tuán)簇束流在線捕獲原子。
整體設(shè)備系統(tǒng)可以定制達(dá)到超高真空標(biāo)準(zhǔn)(可烘烤)。
附加功能
731-1
731-1
原子數(shù)選擇金團(tuán)簇沉積
結(jié)構(gòu)調(diào)控金團(tuán)簇沉積
案例展示
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